附加样品台
我们设计了附加样品台来适应比平均尺寸更小或更大的晶体,这些样品台可用于在不同的工艺阶段测量更大范围的样品尺寸。
Omega/Theta XRD 是能够满足未来需求的可靠合作伙伴,可测定多变的半导体环境中的晶体取向。市场领先的精度、极快的测量速度和高端构建质量与自动化的强大功能相结合,确保您的工艺已准备就绪。Omega/Theta XRD 针对晶体取向和对准提供了无与伦比的效率和精度,是生产和研究应用的理想选择。
我们的方法只需要一个测量圆来收集所有必要的数据,从而完全确定晶体取向。测量精度高、测量时间短,仅需几秒钟时间。
Omega/Theta XRD 的所有测量都是自动化的,并通过方便用户使用的 XRD 软件进行管理。可以使用各种 MES、SECS/GEM 和类似接口轻松将该仪器集成到生产环境中的现有工艺流程中。
Omega/Theta XRD 可用于表征所有单晶材料。常用材料包括:
我们的各种配件提高了 Omega/Theta XRD 在各种应用中的效率,包括子晶钻孔、研磨、切片和晶圆几何结构末端控制 - 即使这些需求随着时间的推移而变化,也可以让您保持灵活性。插件包括:
技术规格 | |
---|---|
X 射线源 | 标准 X 射线光管,铜阳极 |
探测器 | 闪烁计数器(单个或双个) |
样品杯 | 用于样品调整的精密转台、安装板和工具 |
晶体准直器 | 可用 |
映射 | 提供重型映射样品台 |
软件 | XRDStudio |
水冷却 | 流量 – 4l/min,最大压力 8 bar,T ≤ 30°C |
PC 工作站 | Windows 7 或最新版本,.NET Framework 更新 |
尺寸 | 高 1950 mm × 深 820 mm × 宽 1200 mm |
重量 | 约 650 kg |
电源要求 | 208-240 V、16 A 单相、50-60 Hz |
认证 | 根据 ISO 9001 准则制造,符合 CE 标准 |
我们设计了附加样品台来适应比平均尺寸更小或更大的晶体,这些样品台可用于在不同的工艺阶段测量更大范围的样品尺寸。
使用专用样品调整工具轻松处理各种类型的样品。
使用转台上方的附加 X-Y 定位台,轻松将晶体取向或表面畸变映射到用户定义的网格上。映射样品台可以通过可定制的表面扫描对整个样品表面进行全面探索。
锯切前精确对准晶棒,提高工具利用率。高效的堆垛台在方位扫描期间对准晶棒,然后将完整的堆垛转移到线锯上。这种平行锯切方法非常高效。
对生产过程进行快速准确的质量控制测量。指示晶格质量的摇摆曲线可以快速逐点评估,也可以与质量图的映射工具结合使用进行评估。光学器件采用自动化机制,可轻松打开/关闭。
高质量的照相机和额外的图像处理功能使平槽和 V 槽检测变得更容易。
可选的激光扫描仪可以测量精确的样品形状,让您更深入地了解您的材料。