样品杯
SDCOM 提供多种样品杯，使您能够轻松处理更小、更大或不规则的样品。
概览
快速而精确的晶体取向测量从未如此轻松易行 - 诚意为您推介 SDCOM，用户友好紧凑型 XRD。方位扫描方法可实现超快速测量，不到五秒钟即可返回结果。
SDCOM 提供高达 0.01o 的最高精度，且配有多种样品杯和转移夹具（包括横向晶体方向标记选项），这款易于使用的紧凑型产品是晶圆加工和研究领域许多应用的理想解决方案。
特点和优点
超快速且精确：方位扫描方法
方位扫描方法只需要一个测量圆来收集所有必要的数据以完全确定方位，从而在非常短的测量时间内（几秒钟的范围内）提供高精度。
样品旋转 360o，X 射线源和探测器的位置可以实现每转一定数量的反射。这些反射使得能够在短时间内以高精度测量晶格相对于旋转轴的取向。
紧凑且多功能
SDCOM 轻巧紧凑，易于移动，能够轻松融入您的流程 – 无论是在研究还是工业中。XRD Suite 软件功能强大且直观，为各类用户提供方便且易于操作的功能。
灵活性是 SDCOM 的关键，这在它可以测量的材料范围上体现得尤为明显。SDCOM 可以测量尺寸从 1 mm 开始的晶体，可测量材料示例包括：
- 立方晶系，任意未知取向：Si、Ge、GaAs、GaP、InP
- 立方晶系、特殊取向：Ag、Au、Ni、Pt、GaSb、InAs、InSb、AlSb、ZnTe、CdTe、SiC3C、PbS、PbTe、SnTe、MgO、LiF、MgAl2O4、SrTiO3、LaTiO3
- 四方晶系：MgF2、TiO2、SrLaAlO4
- 六方晶系和三角晶系：SiC 2H、4H、6H、15R、GaN、ZnO、LiNbO3、SiO2（石英）、Al2O3（蓝宝石）、GaPO4、La3Ga5SiO14
- 正交晶系：Mg2SiO4、NdGaO3
此外，还有各种样品杯和转移夹具，可以进一步扩展 SDCOM 应用的可能性，确保与您的工作流程兼容。还提供手动和电动晶圆映射样品台。
用户友好的精度
SDCOM 根据样品的不同提供高达 0.01o 的出色精度，并且能够测量 1 mm 及以上尺寸的晶体。由于方位扫描方法能够在单次测量旋转中提供晶体取向的完整特征，因此可以在最高速度下保持这种精度。还可以选择包含横向晶体方向标记功能。
得益于手动处理和直观的软件设计，SDCOM 易于使用，适合各种类型的用户访问 – 在用户体验水平可能有所不同的研究和工业中都很实用。
具备成本效益
SDCOM 的 X 射线管采用风冷，无需水冷却。由于 SDCOM 的效率高且占地面积小，因此能源消耗保持在最低水平，您的运行成本也保持在最低水平。
主要应用
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- 标记和测量面内方向
- SDCOM 提供超快速的高精度晶体取向测量，非常适合晶圆生产和加工中的一系列应用，包括面内方向的标记和测量。它轻巧便携，可以部署在流程中任何需要的地方。
- SDCOM 能够以高精度测量低至 1 mm 的小晶体以及测量各种材料，非常适合支持半导体工业复杂且不断变化的需求。
- 生产质量控制
- 常规流程控制需要速度、精度和可重复性，而 SDCOM 可以满足这些要求。得益于其桌面格式和风冷 X 射线光管，SDCOM 超快的测量速度将提高您的生产效率，同时不会对您的运行成本产生重大影响。
- 材料研究
- SDCOM 能够在较小的实验室空间内测量多种晶体类型，是标准研究工作流程的理想选择。通过最大限度地减少能耗并使用无需水冷却的风冷 X 射线光管，它能将运行成本保持在较低水平。
- SDCOM 还易于使用和手动操作，使其成为拥有许多不同用户的研究实验室的实用解决方案。
规格
| X 射线源 | 30 W 风冷 X 射线光管，铜阳极 |
| 探测器 | 闪烁计数器技术 |
| 样品杯 | 精密转台、设置精度 0.01°、定制样品杯和转移夹具 |
| 样品直径 | 直径低至 2 mm，高至 200 mm |
| 环境温度 | ≤ 30° C |
| PC 要求 | Windows 10 或最新版本NET Framework 更新，2 个以太网端口 |
| 电源要求 | 100 – 230 V，单相，500 W |
| 尺寸 | 600 mm（长）x 600 mm（宽）x 840 mm（高） |
| 重量 | 约 100 kg |
| 认证 | 根据 ISO 9001 准则制造，符合 CE 标准 |
| 所有技术参数均可能因研发情况而发生变化 | |
配件
转移夹具
添加专用转移夹具，包括线锯、研磨等选项，以将 SDCOM 完全集成到您的流程中。
支持
支持服务
- 电话和远程支持
- 预防性维护和检查
- 灵活的客户服务协议
- 性能认证
- 硬件和软件升级
- 本地和全球支持
专业知识
- 元素和结构半导体计量的统包解决方案
- 自动化和咨询
- 培训和教育
