用于晶圆映射的设备
用于探索和映射晶体取向或表面畸变的可选插件。
概览
动动手指即可实现精度高达 (1/100)o 的超快晶体取向。DDCOM 获得可靠结果的速度比传统方法快 100 倍以上，并且由于采用自上而下的测量几何结构，还能节省更多时间。这款拥有出色多功能性的仪器采用风冷 X 射线光管和便携式设计，可确保降低运行成本、尽可能提高便利性，是质量控制、标记和研究应用的理想选择。
特点和优点
超快速精准测量
我们专有的扫描方法只需旋转一次扫描即可收集测定晶体取向所需的所有数据，并在几秒钟内（单次旋转）提供精确的结果。
特定于材料的仪器几何结构使晶格相对于旋转轴的取向能够以超快的速度进行测量，精度随着扫描旋转次数的增加而增加。
紧凑、用户友好的形式
DDCOM 的紧凑型设计使系统能够适应任何环境。软件功能强大且直观，为各类用户提供方便且易于操作的功能。
精确高效的控制
保持对切割、研磨和抛光流程的控制，精度高达 1/100o。DDCOM 提供完整的单晶晶格取向，专为晶体取向的方位设置和标记而设计。
预编程的晶体参数能够测定各种结构的任意未知取向，并有助于改进工作流程以提高效率。各种载物台配件，支持在不同的流程步骤中进行计量。
功能多样且具备成本效益
DDCOM 配备齐全，适合需要分析各种样品类型的研究和生产环境。DDCOM 的运行成本较低，这得益于其低能耗和风冷 X 射线光管 - 无需水冷却。
该仪器可以测量一系列具有不同结构的不同材料，使其成为任何实验室的多功能补充。可测量材料的一些示例包括：
- 立方晶系，任意未知取向：Si、Ge、GaAs、GaP、InP
- 立方晶系、特殊取向：Ag、Au、Ni、Pt、GaSb、InAs、InSb、AlSb、ZnTe、CdTe、SiC3C、PbS、PbTe、SnTe、MgO、LiF、MgAl2O4、SrTiO3、LaTiO3
- 四方晶系：MgF2、TiO2、SrLaAlO4
- 六方晶系和三角晶系：SiC 2H、4H、6H、15R、GaN、ZnO、LiNbO3、SiO2（石英）、Al2O3（蓝宝石）、GaPO4、La3Ga5SiO14
- 正交晶系：Mg2SiO4、NdGaO3
主要应用
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- 用于切割、研磨和抛光流程的晶体取向控制
- DDCOM XRD 占地面积小、自动化能力强、测量速度快，为您提供了一种方便、用户友好的晶体取向测量方法，能够精确有效地控制切割、研磨和抛光流程。
- 晶体取向的设置和标记
- DDCOM 配备晶体取向的方位设置和标记。晶圆标记依赖于卓越的精度和快速监控，而 DDCOM 可提供您的流程所需的速度和精度。它有着轻巧便携的特点，可轻松整合到现有设置中，也可方便地纳入新流程。
- 质量控制
- 测量速度和通量时间对于生产质量控制至关重要，但对于常规测量而言，保持低运行成本也很重要。由于采用自上而下的测量几何结构，DDCOM 不仅在通量和生产率方面具有出色的效率，能源使用的效率同样出众，能够帮您降低成本、优化流程运行，同时不影响质量。
- 材料研究
- DDCOM 能够在较小的实验室空间内测量多种晶体类型，是标准研究工作流程的理想选择。通过最大限度地减少能耗并使用无需水冷却的风冷 X 射线光管，它能将运行成本保持在较低水平。无论用户经验水平如何，DDCOM 都易于访问、易于操作，因此是研究实验室的实用解决方案。
规格
| 技术规格 | |
|---|---|
| X 射线源 | 30 W 风冷 X 射线光管，铜阳极 |
| 探测器 | 两个闪烁计数器 |
| 样品杯 | 精密转台、设置精度 0.01°、用于定义样品定位和标记的工具 |
| 物理规格 | |
| 尺寸 | 600 mm × 600 mm × 850 mm |
| 重量 | 80 公斤 |
| 电源 | 100-230 V，500 W，单相 |
| 室温 | ≤ 30° C |
| 配置选项 | |
| 用于晶圆映射（最大直径 225 mm）的装置 | |
| 用于从载盘自动装载的装置 | |
| 可测量材料示例 | |
| 立方晶系/任意未知取向：Si、Ge、GaAs、GaP、AlAs、AlP、InP、NaCl、AgCl、CaF2 | |
| 立方晶系/特殊取向：Ag、Au、Ni、Pt、GaSb、InAs、InSb、AlSb、ZnTe、CdTe、SiC 3C、PbS、PbTe、SnTe、MgO、LiF、MgAl2O4、SrTiO3、LaTiO3 | |
| 四方晶系：MgF2、TiO2、SrLaAlO4 | |
| 六方晶系/三角晶系：SiC 2H、4H、6H、15R、GaN、ZnO、LiNbO3、SiO2（石英）、Al2O3（蓝宝石）、GaPO4、La3Ga5SiO14 | |
| 正交晶系：Mg2SiO4、NdGaO3 | |
| 根据客户需求提供更多材料 | |
配件
从载盘自动装载
一个额外的工具，可以从载盘自动装载样品，从而缩短通量时间并提高工作流程效率。
支持
支持服务
- 电话和远程支持
- 预防性维护和检查
- 灵活的客户服务协议
- 性能认证
- 硬件和软件升级
- 本地和全球支持
专业知识
- 元素和结构半导体计量的统包解决方案
- 自动化和咨询
- 培训和教育
